罗茨真空泵如何工作？

罗茨泵根据罗茨鼓风机的原理工作，如图3-57所示。在运行过程中，泵送的气体通过进气口进入转子和泵体之间。此时，转子和泵体从进气口中分离出气体，分离出的气体（如图上部所示）为。转子在连续旋转时被送至排气口。在图3-57（a）中，Vo空间处于封闭状态，因此没有压缩和膨胀。但是，当转子的峰值转向排气口的边缘时，由于VO部分的压力低于排气口的压力，为了使连接体积中的压力均匀，气体将从排气口扩散到Vo区域。其扩散方向与转子的旋转方向相反。当转子再次旋转时，VO处的气体被压缩到排气口以将其排出。此时，转子的另一侧连接到进气口，并且气体被吸入。当转子连续旋转时，重复上述泵送过程以连续地排出进入的气体。该工作过程等同于将转子空间加到某个较大的z *小值上，然后从较大的z *值减小到一个较小的z *值。这是罗茨真空泵的容积作用原理。罗茨泵在低进口压力下运行时，由于转子转速高（1000r / min至3000r / min），转子速度接近分子的热运动速度，并且气体分子与转子碰撞。它由转子携带到高压排气口，然后由预真空泵将其除去。这就是罗茨真空泵的分子原理。